第83章 nm光刻机 (第1/2页)

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“龙脊”工业园的落成和“洞察-iii”侦察卫星网络的成功组建,标志着华盟在宏观的机械制造、材料合成乃至航天领域取得了令人瞩目的成就。

然而,在“龙渊”指挥中心的最深处,马小淘和李院长都清醒地意识到,华盟的未来,乃至整个文明升级的基石,并不仅仅在于这些“宏大”的工程,更在于那微观尺度上的极致雕琢——更高精度的集成电路。

现有的

“烛龙-i型”i-line(365nm)光刻机

虽然成功制造了“龙芯-i型”处理器,但其

0.8微米(800纳米)

的制程和可怜的良品率,已经成为制约整个技术体系进一步发展的最大瓶颈。更先进的火控计算机、卫星数据处理单元、“区域战略指挥网络”的核心交换机、乃至未来可能的人工智能项目,都需要更强大、更精密的“大脑”。

在“龙渊”下属的微电子研发中心,气氛凝重。硅魂和他的团队正面对着一面写满了公式、图表和问题清单的白板,一筹莫展。

“i-line光源的极限就在这里了!”一位光学工程师用力点着白板,“365纳米的波长,衍射效应决定了我们的线宽极限就在0.8微米附近!想要更精细,要么寻找更短波长的光源,要么…”他顿了顿,说出了那个令人绝望的词,“…推翻重来!”

推翻重来?意味着要重新研发一套全新的光学系统、光源、乃至配套的光刻胶和工艺。这对于刚刚站稳脚跟的华盟微电子工业来说,无异于一场豪赌。

硅魂推了推空气眼镜,眼中布满了血丝,但目光却异常坚定:“我们必须跨过去。系统奖励的‘区域战略指挥网络’蓝图里,对核心处理器的算力要求是现在的十倍以上!没有更先进的芯片,一切都是空谈。”

他转过身,看向团队:“i-line的路走到头了。我们必须挑战深紫外(duv)。目标是——198纳米!奥利给!!!”

198nm!这意味着他们要跨越一个巨大的技术鸿沟,从传统的汞灯光源,迈向全新的准分子激光光源领域!

目标确立,但前路遍布荆棘。硅魂迅速将难题分解,并请求华盟技术统筹委员会支援,一场联合攻坚战打响。

1.

天堑一:光源——“弑神之光”计划

*

难题:

198nm波长的光源,需要氟化氩(arf)准分子激光器。这玩意儿可不是简单的灯泡,它需要超纯度的特殊气体混合、精密的高压放电激发、复杂的光学谐振腔、以及极其稳定的能量控制。

*

攻关:

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